光明化工研究设计院

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为了满足微电子、光电子的急需，光明院在国内率先开展SiH4、PH3、B2H6、AsH3、GeH4、Si2H6等剧毒气体干法解毒技术的研究及装置的生产，目前生产的设备已在IC生产线使用。