一、高纯气体
1、高纯电子气体
| 气 体 名 称 |
规 格 |
|
氨 |
Ammonia |
NH3 |
99.995~99.99994% |
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三氟化硼 |
Boron Trifluoride |
BF3 |
99.995% |
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三氯化硼 |
Boron Trichloride |
BCl3 |
99.99~99.999% |
|
四氟化碳 |
Carbon Tetrafluoride |
CF4 |
99.999% |
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氯气 |
Chlorine |
Cl2 |
99.9995% |
|
二氯二氢硅 |
Dichlorosilan |
SiH2Cl2 |
99.99% |
|
氯化氢 |
Hydrogne Chloride |
HCl |
99.994% |
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氧化亚氮 |
Nitrous Oxide |
N2O |
99.99~99.995% |
2、高纯有机与无机气体
| 有 机 气 体 名 称 |
规 格 |
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丙二烯 |
Allene |
C3H4 |
97% |
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1,2-丁二烯 |
1,2-Butadiene |
C4H6 |
95% |
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乙基乙炔 |
1-Butyne |
C4H6 |
99% |
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1-丁烯 |
1-Butene |
C4H8 |
99.5% |
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顺-2-丁烯 |
Cir-2-Butene |
C4H8 |
99% |
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反-2-丁烯 |
Trans-2-Butene |
C4H8 |
99% |
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正丁烷 |
Butane |
C4H10 |
99.9% |
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环丙烷 |
Cyclopropane |
C3H6 |
99% |
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乙烯 |
Ethylene |
C2H4 |
99.95~99.995% |
|
乙烷 |
Ethane |
C2H6 |
99.95~99.995% |
|
异丁烯 |
Isobutylene |
C4H8 |
99.7% |
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异丁烷 |
Isobutane |
C4H10 |
99.5~99.95% |
|
甲烷 |
Methane |
CH4 |
99.9~99.995% |
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甲基乙炔 |
Methyacetylene |
C3H4 |
99% |
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丙烯 |
Propylene |
C3H6 |
99.5~99.995% |
|
丙烷 |
Propane |
C3H8 |
99.9~99.995% |
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无 机 气 体 名 称 |
规 格 |
|
氩 |
Argon |
Ar |
99.999% |
|
一氧化碳 |
Carbon Monoxide |
CO |
99.9~99.99% |
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二氧化碳 |
Carbon Dioride |
CO2 |
99.995% |
|
氧硫化碳 |
Carbonyl sulfide |
COS |
99% |
|
氢 |
Hydrogen |
H2 |
99.99~99.999% |
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氦 |
Helium |
He |
99.99~99.999% |
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硫化氢 |
Hydrogen Sulfide |
H2S |
99.9~99.995% |
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氮 |
Nitrogen |
N2 |
99.99~99.999% |
|
氧 |
Oxygen |
O2 |
99.995% |
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二氧化硫 |
Sulfur Dioxide |
SO2 |
99.98% |
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六氟化硫 |
Sulfur Hexafluoride |
SF6 |
99.9~99.99% |
|
一氧化氮 |
Nitric Oxide |
NO |
99% |
|
二氧化氮 |
Nitrogen Dioxide |
NO2 |
99.5% |
二、标准气体、混合气体
我们提供的标准气、混合气等采用称量法或分压法配制，均经过严格检测，符合标准气、混合气技术规格，数据准确可靠。气瓶经过处理，气体质量可充分保证。
1、标准气体
标准气、混合气技术指标
类 别 |
浓度范围 |
配制允差 |
分析准度 |
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标准混合气 |
10PPM—50% |
组份的±5% |
每个组份浓度的
相对不确定度＜1% |
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工业标准混合气 |
10—99PPM
100—999PPM
0.1—50% |
组份的±10%
组份的±5%
组份的±5% |
±3%
±2%
±2% |
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一级工业混合气 |
10—99PPM
100—999PPM
0.1—50% |
组份的±20%
组份的±10%
组份的±5% |
±5%
±2%
±2% |
|
二级工业混合气 |
10—99PPM
100—999PPM
0.1—50% |
组份的±20%
组份的±10%
组份的±5% |
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- 分析仪校准用标准气
- 电子捕获气
- 激光混合气
- 检漏、焊接用气
- 医学研究用气
- 环保用气
- 消毒气
上述标准气体可广泛应用于：乙烯、石油化工、环境保护、安全
报警、医疗卫生、空分和燃气、电力、煤矿、冶金、机械、化肥、水泥、录井探矿、国防科研、汽车尾气、灯泡、激光、焊接、消防。
2、混合气体
我院可根据用户需要提供：电子工业用混合气体，如：N2-SiH4、N2-PH3、N2-B2H6等；消毒气体环氧乙烷（C2H4O）——二氧化碳（CO2）等。
三、气体相关的管、阀、件
1982年以来，光明化工研究设计院根据电子气国产化的需要，自行开发研制的特气管阀配套系列产品，已在中科院、机电、航天、石化等数百家用户推广应用，在此基础上，通过了部级技术投产鉴定，有些产品属国内首创，并获得了国家专利，其主要特点是密封性好，安全可靠，温度、压力适应范围广，耐腐蚀，洁净度高，特别适用于高纯、易燃、易爆、剧毒和强腐蚀性、放射性的介质。可用于微电子工业、遥感激光、光导通讯、金属有机等高科技领域，以及石油、化工、医药、食品、环保等部门对密封性要求高的场合，也可用于各种仪器、仪表试验装置中。
主要系列产品：
1、GQ系列隔膜式气瓶阀；GJ系列隔膜式截止阀；BJ系列波纹管截止阀；BJL系列波纹管节流阀；ZH系列止回阀；AZ系列弹簧式安全阀； TW系列填料式微流量调节阀。
2、TQZ系列吹洗装置（气瓶柜）。
3、TY系列耐腐蚀金属膜片式减压器。
四、气体软包装
我院自“七五”起在国内首次开展气体软包装的研究工作，生产的软包装满足各行各业的需求，详见：www.gasanalysis.com.cn
五、气体取样瓶与内壁处理
我院针对用户需要，开展各种型号的取样瓶研制与生产，形成一系列不同规模的气体取样瓶，耐压从0.1~15.0Mpa。由于硫化物、卤化物、氨等低浓度、多组份、腐蚀性的标准气体在气瓶中不稳定，我院自八十年代开展的气瓶内壁处理技术，满足0.1×10-6（ppm）级别的各种化学性标准气体的制备。
六、剧毒气体解毒技术与装置
为了满足微电子、光电子的急需，光明院在国内率先开展SiH4、PH3、B2H6、AsH3、GeH4、Si2H6等剧毒气体干法解毒技术的研究及装置的生产，目前生产的设备已在IC生产线使用。
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