光明化工研究設計院高純氨中心

    光明化工研究設計院高純氨中心，其前身是光明院2000年成立的國家"863"高純氨研究專題組。幾年來在科技部、國防科工委、大連市人民政府及院資金和政策的重點支持下，通過對超純電子氣體、高純石油化工氣體、標準氣體、氣體淨化設備及與氣體相關的各關鍵技術的深入研究與探索，取得了一定的成就，特別是電子氣體中的超純氨，首次在國內LED生產線上使用，已經形成1500t/a產業化能力。

    中心添有各種先進的進口儀器如：TIGER OPTICS 氨中痕量水（10-9數量級）分析儀、安捷侖公司色質聯用（GC-MS）、ICP-MS、日本島津系列色譜、美國DELTA F 微量氧分析儀、XPDM露點儀、熱電公司的NO-NO2-NOx分析儀及德國、瑞士產進口天平等，還購置了美國LPC-101-HP型高壓鐳射氣體顆粒計數器。

    在工藝設備方面，具有完備的各種有機合成與超純淨化、催化劑性能評價、高效吸附與精餾研究與中試生產裝置，充分實現了工程研究與產品生產的完美結合。

中心研究內容

    完成承擔的國家各部委氣體攻關計畫；研究氣體產業化生產所必須的各種方法和參數。

    在研國家攻關課題：  高純氯 高純磷烷 高純砷烷飛行器用超純氣體熱工質

    著重解決的 劇毒氣體幹法解毒技術的完善；氣體大規模合成技術與反應器設計；低溫精餾技術；

    關鍵技術 高效複合化學深度脫水吸附乾燥劑、新型去氧劑的製造(鈀、錳、鎳系列)。

中心常規產品

    優勢產品：超純氨 純度 >6.4N(LED級)；>5.5N( IC及太陽能電池級) 設計產能：1600t/a

    電子氣體：高純氯、高純砷烷、高純磷烷、高純鍺烷、高純一氧化氮（半導體級）、高純乙硼烷、高純三氟化硼、高純丙烷、高純丙烯、6N純度H2、He、Ar等。

    高純氣體：各種氣體的合成與淨化是中心優勢專業，擁有的高效氣體分離設備，如不同規格的合成裝置、系列精餾塔器、催化劑製造與評價裝置，可根據用戶的需要合成或純化高純有（無）機氣體，如各種烷、烯、炔化合物；研製的溴甲烷、羰基硫、甲硫醇、環丙烷、丙二烯、丙炔、丁炔等特殊氣體已投入市場多年。中心研製提純的高純鹵素氣體，經國內多家用戶使用，完全滿足電光源的品質需求。

    標（混）氣體：我院擁有國家品質技術監督局批准的國家二級標準物質(樣品)50多種。配製各種複雜標準體是中心明顯特點，由於配氣需要的各種原料都是自產，所以，標混氣性價比更高。

    典型代表的標準氣：硫化物系列標準氣、氯及氯化物標準氣、氨（NH3）、胺系列標準氣、氮氧化物標準氣、氰化物（HCN）、乙腈、醛、丙烯腈標準氣、石油化工用標氣、液體安碚瓶標準氣體等。LED、太陽能用超淨混合氣：H2-SiH4、H2-B2H6、H2-PH3、H2-AsH3等

    超純氣體高壓淨化設備：6N純度的高壓超純氮、超純氫、超純氦、超純氬淨化器。

    氣瓶的內壁特殊處理：採用內表塗層、特殊氧化、矽烷化技術，處理的氣瓶確保活性標準氣體如氯及氯化物標準氣等穩定可靠，為了適應"ppb"級"活性"標氣的需要，我們正致力於該技術的深入研究。

    劇毒氣體的解毒技術：中心根據IC、LED生產過程排放大量有毒有害氣體的情況，在國內第一個開展SiH4、Si2H6、AsH3、GeH4、PH3、B2H6、H2S、H2Se、H2Te 等幹法解毒技術研究，該技術已廣泛應用於使用有毒有害氣體的領域和部門如中科院半導體所、中國航太總公司。

    高純氯純化裝置及氯淨化工程：以工業液氯為原料，經過系列深度淨化集合，可使氯氣純度達99.9995%,有效去除H2O等雜質，產品用於TFT-LCD、合金鋁的加工、光導纖維脫—OH生產工藝。

    標準氣體製備裝置：我們根據多年的配氣經驗，結合當今國際技術成就，自行設計製作第六代標氣配製裝置，目前國內已經有數十家用戶使用我中心的設備，通過設備獲得了氣體相關方面的增值服務。

    標準氣體技術對外培訓與服務：利用豐富的理論及近30年的一線實際經驗，有計劃的進行具有行業特色的技術培訓，編寫了內控系列資料如《標準氣體學習講義》、《多元液化複雜標準氣體最大配製壓力計算》、《標準氣體配製用壓縮因數及常用資料彙編》等技術資料，方式獨特。已為國內（外）培養近百名學員。